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目前在回收系统上采用有油或无油系统，至于孰优孰劣，也存在着一定的争议。无油系统理论上可以做到SF6气体达到不与油接触，称为全元油，如国内使用的膜式压缩机。

然而，六氟化硫却属于温室气体，有可能导致全球变暖。六氟化硫气体作为工业生产用气，是绝好的电力设备绝缘气体，但它作为六种温室气体之一，据计算，六氟化硫气体对臭氧层的破坏程度是二氧化碳的23900倍，而且大气中的六氟化硫气体寿命可达3400年，能对臭氧层造成长期破坏。SF6气体微水测试仪。

纯净的六氟化硫气体在常温常压下无色、无味、无毒，不可燃，理化性质稳定，但若设备内部存在局部放电、重燃和严重过热性故障时，该气体将发生分解，产生SOH2S、CO

在工作生产中严禁水分进入是六氟化硫产生毒害物质的一个条件。如果六氟化硫气体中含有超过规定的水分，当其湿度发生变化时，就可能凝结在固体绝缘表面使该面变潮，这时设备的沿面放电电压将显著下降。SF6气体微水测试仪。

我国成为仅次于美国的世界第二大集成电路市场，总需求量约为500亿美元。目前国内使用六氟化硫作为蚀刻气的生产线约有50条左右预计。在未来的几年预计将有20条至30条新线建成。

此外，SF6可在小的气罐内储存，这是因为室温下加高压力易液化。目前，六氟化硫气体被用于电气工程、半导体处理、镁的提纯过程的填充气、隔声材料制备、泄漏检测、*的无声化推进等方面。

六氟化硫在大气和矿井环境中的本原含量很低，约为10-14~10-15g/ml，并且它的检出灵敏度高，检测精度可达8×10-9。六氟化硫气体的这些性质，使得人们可以方便、准确的应用它进行矿井漏风检测。SF6气体微水测试仪。

但是。SF6气体检漏仪的指示与气体的浓度有关：一般。低浓度的指示是线性的。中等浓度的是非线性的。而当浓度很高时仪器出现饱和或中现象。所以在进行性能测试或检漏时。

重复性：0℃；气体流量：湿度测量时：0～0L/mn、纯度测量时：0～0L/mn；电子质量流量计，样气流速无影响；压力测量：0～0MP；探头保护：不锈钢烧结过滤网；SF6纯度；测量范围：0～SF6；精度和重复性：0%，与流量无关；响应时间：30s；工作电压：220V10%、50z，，交直流两用，过充保护，连续工作不低于5小时；储存温度等级：-40～+70℃；输出接口：US1规范；操作环境：温度：-30～+60℃；压力：0～20r；样气流速：无影响；其它配置：标准版管理软件，含报表打印，湿度常用转换工具。

同时还用作镁铝合金压铸的保护气体。六氟化硫气体作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域。作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂。

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