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事实上,晶圆制造整个环节需要:氧化炉、涂胶显影设备、光刻机、刻蚀机、离子注入机、薄膜沉积设备(括PVD、CVD、ALD等)、化学机械抛光机、清洗机、晶圆检测设备等。此外,在IC封测环节还需要经过切割、装片、焊线、封装等环节,也需要很多的设备。可以说,任何一个设备环节被卡住,所有的努力就将付诸东流。
尽管对于芯片制造来讲,光刻机的重要性不言而喻。但是,也不是说造出光刻机,华为的困难就能迎刃而解。除光刻机外,EDA、应用材料等很多领域仍然存在较大缺口,若想要造出一条领先的非美系生产线,所需要的不仅仅是先进光刻机。
但从另一方面想,对于华为而言,首先需要解决的问题是,如何实现所有芯片制造的关键环节的设备都能够不被美国卡脖子。从设备方面考虑,目前国产芯片产业链与国际相比,光刻机是受掣肘 甚的设备之一,所以,华为从光刻机入手,也并非完全不可能。
然而,光刻机的难度超乎想象。目前,全球光刻机市场99%的市场都被ASML、尼康和佳能三大巨头占据,无一不是经历了数十年的积累,高端EUV光刻机更是只有ASML唯一供应。
上海微电子90nm光刻机
与国际巨头相比,国产光刻机龙头上海微电子目前 新的90nm光刻机也仅仅是ASML十多年前的水平。尽管如此,该光刻机就含13个分系统、3万个机械件、200多个传感器,对误差和稳定性的要求极高。
由此可见,光刻机是一套集合全球 先进技术的精密系统。更重要的是,光刻机的很多核心部件需要由全球各地的供应商所提供的,很多甚至需要定制。
这意味着,华为如果想要自研出可以供自己使用的高端光刻机,其 大的难点并非组装出一台高端光刻机,而是搭建起一条不被美国卡住脖子的高端光刻机供应链。
结语
近期,不只是华为,括中科院5nm激光光刻弯道超车、95后本科生DIY纳米级光刻机等消息频繁登上热搜, 后不外乎都被发现是媒体为了博取噱头,如此行为可谓“捧杀”。
诚然,中国苦“芯”久矣!中国慕“光刻机”亦久矣!如果我们真的在核心技术领域取得了重大进展,那确实值得大书特书,大力报道;但如果夸大其实,自我高潮,那只能是误导群众,贻笑大方。
无论如何,华为都已经走出了一条与众不同的路。
原文标题:华为要进军光刻机制造,两年量产5nm光刻机?还是又一场媒体“自嗨”?
.(编辑:平利电工培训学校)